重量 | 6.6 |
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靈敏度 | 2*10-4, <200 |
介質溫度 | 70℃(max.) |
測量精度 | 10-4/10-6 |
品牌 | 斯坦福Stamford |
型號 | RGA200 |
殘余氣體分析儀(RGA)劃分為RGA100、RGA200、RGA300amu三種型號,其優異的性能和價值是真空分析儀的**產品。并且SRS提供的殘余氣體分析儀的價格不到同類產品的一半,每一個RGA系統都由一個四級桿探針和電子控制單元組成。實時分析的windows軟件包可以更方便的用于數據采集和分析,并可進行遠程控制。
殘余氣體分析儀具體性能參數如下:
型號
質譜范圍:
RGA100:1 to 100 amu
RGA200:1 to 200 amu
RGA300:1 to 300 amu
質樸濾波器類型:Quadrupole
探測器類型:Faraday cup (FC), standard Electron multiplier (EM), optional
分辨率:Better than 0.5 amu @ 10 % peak height. Adjustable to constantpeak throughout the mass range.
靈敏度(A/Torr) :2*10-4(FC), <200 (EM).
探測極限:5*10-11 Torr (FC), 5 *10-14 Torr (EM)
測試范圍:10-4 Torr to UHV (FC) 10-6 Torr to UHV (EM)
操作溫度:70℃(max.)
烘烤溫度:300℃(withoutECU)
離子發生器
結構:Open ion source, cylindrical symmetry, electron impact ionization
材料:SS304 construction
燈絲:Thoriated iridium (dual) with firmware protection. Built-in 1 to10 W degas ramp-up. Field replaceable.
電子能量:25 to 105 V, programmable
離子能量:8 or 12 V, programmable
焦點電壓:0 to 150 V, programmable
電子輸出電流:0 to 3.5 mA, programmable
規格
探針尺寸:8.75” from flange face to top of ionizer
探針孔徑:2.0”
探針安裝法蘭:2.75”CF
Minimum tube I.D.:1.375”
ECU尺寸:3.1”*4.1” * 9.1” (WHD). Easily separated from the probe for**out.
LED指示燈:Power ON/OFF, filament ON/OFF, degas ON/OFF, electron multiplier ON/OFF,RS-& 232 Busy, Error, Overpressure, Burnt Filament
預熱時間:Mass stability ±0.1 amu after 30 minutes
電腦接口:RS-232C, 28,800 baud with highlevel command set
軟件:Windows based application
電源要求:24 VDC @ 2.5 amps, male DB9 connector, optional built-in powermodule for AC line operation